Study on Repetitive PID Control of Linear Motor in Wafer Stage of Lithography

نویسندگان
چکیده

برای دانلود رایگان متن کامل این مقاله و بیش از 32 میلیون مقاله دیگر ابتدا ثبت نام کنید

اگر عضو سایت هستید لطفا وارد حساب کاربری خود شوید

منابع مشابه

non-linear study of various slit shear walls in steel structures

seismic retrofit strategies have been developed in the past few decades following the introduction of new seismic provisions and the availability of advanced materials and methods. it can be observed that new approaches to deal with more lateral forces are more innovative and more energy absorbent. in line with this, there is a growing trend toward the use of steel shear walls as a system with ...

15 صفحه اول

focus on communication in iranian high school language classes: a study of the role of teaching materials in changing the focus onto communication in language classes

چکیده ارتباط در کلاس به عوامل زیادی از جمله معلمان، دانش آموزان، برنامه های درسی و از همه مهم تر، مواد آموزشی وابسته است. در تدریس ارتباطی زبان که تاکید زیادی بر توانش ارتباطی دارد، کتاب درسی به عنوان عامل موثر بر پویایی کلاس محسوب میگردد که درس ها را از طریق فراهم آوردن متن ارتباط کلاسی و هم چنین نوع تمرین زبانی که دانش آموزان در طول فعالیت های کلاسی به آن مشغول اند، کنترل می کند. این حقیقت ک...

15 صفحه اول

ذخیره در منابع من


  با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید

ژورنال

عنوان ژورنال: Procedia Engineering

سال: 2012

ISSN: 1877-7058

DOI: 10.1016/j.proeng.2012.01.585